平行光曝光灯

pc-4500cil曝光灯、日本ushio平行光曝光灯。短弧***灯，平湖平行光曝光灯，又名平行光曝光灯.功率主要有5000w，3000w，8000w等，用途广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧***灯

英文名称是mercury xenon short arc lamps

该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压***蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，平行光曝光灯，适用于全自动曝光系

统和半导体生产光刻。

主要规格型号：日本ushio系列型号有:pc-5001cbt，pc-5001csn，pc-5001cbtl，pc-5001csnl，pc-5002rc，pc-5002ad，pc- 5001ta;pc-5000mf，pc-5000sg、pc-3500sg；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ｓｕｖ-1003ｆａ；ｕｖｌ-3500ｓｉ；ｕｓｈ-5000ｍｇ，uxm-5000ta、ush-3502ma，ush-2004mb、hsa－2002－30341

美国orc型号有:hvf-5001cbt/r，hvf-5001csn/r，hvf-5000mfn/r，南山平行光曝光灯，hvf-5002ad/r。

平行光曝光灯

dnk-5kw(用于dai nippon kaken曝光机)

ush-1000ks和ush-1005d，

bmo-1002df，

kxm2000dk，番禺平行光曝光灯，

kxm2001dk，

ush-2004mb，

hsa2002-30341，

ahd3000mfn，

dnk-3.5kw(用于dai nippon kaken曝光机)

pc-3500sg(用于hakuto曝光机)

ush-3500mr，

ush-3501fn，

ush-3502dk，

ush-3502ma，

kxm3511dk，

美国orc曝光机，(pc-5000mf用于欧特玛曝光机)

pc-5001csn(用于志圣曝光机)

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